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乙硅烷

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 乙硅烷 (Si2H6)

 

项目名称

纯度指标(%)

乙硅烷

≥99.999

杂质含量(ppm)

二氧化碳(CO2) ≤1

氯硅烷(HnSiCl4-n)

≤0.2

氮气(N2)

≤2

氧气(O2)

≤1

硅氧烷(Siloxanes)

≤2

碳氢化合物(THC)

≤1

水(H2O)

≤1

 

包装:通常采用6L钢瓶充装。

 

用途:用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。

 

理化性质:在常温常压下为无色透明气体,具有刺激性气味。d4-250.686,熔点-132.5℃,沸点-14.5℃,它具有与硅烷类似的化学性质,比硅烷不稳定,反应性比硅烷更强。在光照或室温缓慢分解成硅烷和氢,在光照下也可分解。在空气中自燃,浓度在0.2%以上时燃烧会发出火焰,浓度低于0.2%时,则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与卤素气体发生爆炸性地反应,但如果是在低温,则适度地进行卤化。与六氟化硫接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。乙硅烷比硅烷更不稳定,应更加小心。

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