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项目名称 |
纯度指标（%） | |
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乙硅烷 |
≥99.999 | |
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杂质含量（ppm) |
二氧化碳（CO2） | ≤1 |
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氯硅烷（HnSiCl4-n） |
≤0.2 | |
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氮气（N2） |
≤2 |
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| 氧气（O2） |
≤1 |
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| 硅氧烷（Siloxanes) |
≤2 |
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| 碳氢化合物（THC） |
≤1 |
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| 水(H2O) |
≤1 |
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包装：通常采用6L钢瓶充装。
用途：用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。
理化性质：在常温常压下为无色透明气体，具有刺激性气味。d4－250.686，熔点－132．5℃，沸点－14．5℃，它具有与硅烷类似的化学性质，比硅烷不稳定，反应性比硅烷更强。在光照或室温缓慢分解成硅烷和氢，在光照下也可分解。在空气中自燃，浓度在0.2％以上时燃烧会发出火焰，浓度低于0.2％时，则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与卤素气体发生爆炸性地反应，但如果是在低温，则适度地进行卤化。与六氟化硫接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。乙硅烷比硅烷更不稳定，应更加小心。
