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项目名称 |
纯度指标（%） | ||
| 六氟化硫 | ≥99.999 |
≥99.99 |
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杂质含量（ppm)
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空气（Air） |
≤5 | ≤30 |
| 水（H2O） | ≤1 |
≤1 |
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四氟化碳（CF4) |
≤4 | ≤30 | |
| 酸度（Acidity) | ≤0.1 |
≤0.1 |
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可水解氟化物（以HF计） |
≤0.1 | ≤0.2 | |
| 矿物油（Mineral Oil） | ≤0.5 |
≤0.5 |
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| 名称 | 化学式 | 纯度(%) | 压力(Mpa) | 充装量(m3/kg) | 容器规格(L) | 阀门|螺纹出口 | 容器尺寸(cm) | 钢瓶皮重(kg) |
| 六氟化硫 | SF6 | 99.99 | 4 | 50kg | 40L | PX-32|G5/8 | 29×145 | 50 |
| 六氟化硫 | SF6 | 99.995 | 4 | 10kg | 10L | PX-32|G5/8 | 22×70 | 10 |
| 六氟化硫 | SF6 | 99.995 | 4 | 20kg | 15L | PX-32|G5/8 | 22×95 | 13 |
| 六氟化硫 | SF6 | 99.995 | 4 | 50kg | 40L | PX-32|G5/8 | 29×145 | 50 |
| 六氟化硫 | SF6 | 99.999 | 4 | 10kg | 10L | PX-32|G5/8 | 22×70 | 10 |
| 六氟化硫 | SF6 | 99.999 | 4 | 50kg | 40L | PX-32|G5/8 | 29×145 | 50 |
包装：采用40L、44L钢瓶充装，也可根据客户需要，分装到2-10L的气瓶中。
用途：在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源，不会产生含碳副产品；变压器中的绝缘介质；金属冶炼中的保护气氛。
理化性质: 六氟化硫（SF6）常态下是一种无色、无味、无嗅、无毒的非燃烧性气体，分子量146.06，密度6.139g/l，约为空气的5倍。是已知化学安定性好的物质之一，其惰性与氮气相似。它具有极好的热稳定性，纯态下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有卓越的电绝缘性和灭弧特性，相同条件下，其绝缘能力为空气、氮气的2.5倍以上，灭弧能力为空气的100倍。六氟化硫的熔点为－50.8℃，可作为－45－0℃温度范围内的特殊制冷剂，又因其耐热性好，是一种稳定的高温热载体。
注意事项：
密闭操作，局部排风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
