0312-5921898招贤纳士    |    联系我们
六氟化硫
您的位置:首页 > 产品 > 电子气体 > 六氟化硫
0312-5921898
  • QQ在线客服1:点击交谈
  • QQ在线客服2:点击交谈

六氟化硫

浏览次数: 次  价格:0

 六氟化硫 (SF6)

 

项目名称

纯度指标(%)
六氟化硫 ≥99.999

≥99.99

杂质含量(ppm)

 

空气(Air)

≤5 ≤30
水(H2O) ≤1

≤1

四氟化碳(CF4)

≤4 ≤30
酸度(Acidity) ≤0.1

≤0.1

可水解氟化物(以HF计)

≤0.1 ≤0.2
矿物油(Mineral Oil) ≤0.5

≤0.5

 

名称 化学式 纯度(%) 压力(Mpa) 充装量(m3/kg) 容器规格(L) 阀门|螺纹出口 容器尺寸(cm) 钢瓶皮重(kg)
六氟化硫 SF6 99.99  4 50kg 40L PX-32|G5/8 29×145 50
六氟化硫 SF6 99.995  4 10kg 10L PX-32|G5/8 22×70 10
六氟化硫 SF6 99.995  4 20kg 15L PX-32|G5/8 22×95 13
六氟化硫 SF6 99.995  4 50kg 40L PX-32|G5/8 29×145 50
六氟化硫 SF6 99.999  4 10kg 10L PX-32|G5/8 22×70 10
六氟化硫 SF6 99.999  4 50kg 40L PX-32|G5/8 29×145 50

包装:采用40L、44L钢瓶充装,也可根据客户需要,分装到2-10L的气瓶中。

 

用途:在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源,不会产生含碳副产品;变压器中的绝缘介质;金属冶炼中的保护气氛。

 

理化性质: 六氟化硫(SF6)常态下是一种无色、无味、无嗅、无毒的非燃烧性气体,分子量146.06,密度6.139g/l,约为空气的5倍。是已知化学安定性最好的物质之一,其惰性与氮气相似。它具有极好的热稳定性,纯态下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有卓越的电绝缘性和灭弧特性,相同条件下,其绝缘能力为空气、氮气的2.5倍以上,灭弧能力为空气的100倍。六氟化硫的熔点为-50.8℃,可作为-45-0℃温度范围内的特殊制冷剂,又因其耐热性好,是一种稳定的高温热载体。

 

注意事项:

密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。

储存注意事项:储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

回顶部