品名:六氟乙烷
用途:
一:电子工业:六氟乙烷作为等离子蚀刻工作气体在发展微电子工业方面起着重要
作用,是加工大规模集成块工艺中所必需的介质;
二:制冷空调业: 六氟乙烷右用做制冷和空调的冷媒。六氟乙烷还可与HFC-23组成
不损害臭氧层的共沸剂R-508B,R-508B用做多级压缩循环中在低温
段替代CF-13和R-503的替代物;
三:化学工业:六氟乙烷可用做化学反应中的添氟剂;
四:电力工业:六氟乙烷可用做电气设备的绝缘剂和高介电强度冷却剂;
五:其它:六氟乙烷可用于器件表面清洗,还可用于光纤生产。